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自主工藝及可靠性CAE軟件開(kāi)發(fā)

    概述

    半導(dǎo)體制造工藝技術(shù)難點(diǎn)多,操作復(fù)雜,是整個(gè)半導(dǎo)體制造的核心,由于半導(dǎo)體工業(yè)復(fù)雜性以及快速變化,半導(dǎo)體制造工藝及可靠性中的多場(chǎng)多尺度耦合問(wèn)題一直未得到廣泛研究。半導(dǎo)體企業(yè)在進(jìn)行工藝變革和調(diào)整中還主要依賴(lài)于試錯(cuò)方案(Trial-and-Error)以及實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)(DOE)。目前相關(guān)的自主仿真軟件嚴(yán)重缺失。

    目標(biāo)

    從熱-電-力耦合的基本原理出發(fā),結(jié)合半導(dǎo)體制造工藝及可靠性的特性,建立對(duì)應(yīng)的模型,提供熱分析、力分析、電磁分析以及跨尺度及多場(chǎng)耦合分析。

工藝及可靠性仿真

    概述

    將各種不確定性因素引入到仿真模型中來(lái),利用多種不確定性量化手段,實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品性能響應(yīng)不確定性的度量,并且找出關(guān)鍵不確定性因素,通過(guò)控制這些不確定性因素達(dá)到提高產(chǎn)品可靠性水平的目的。

    目標(biāo)

    隨著芯片特征尺寸不斷微縮,先進(jìn)封裝能夠有效緩解信號(hào)傳輸過(guò)程中失真、串?dāng)_、功耗以及可靠性等問(wèn)題。面對(duì)器件封裝結(jié)構(gòu)高復(fù)雜化、異質(zhì)異構(gòu)集成化的發(fā)展要求,封測(cè)企業(yè)面臨在不影響良率及可靠性下,將更多異質(zhì)異構(gòu)的Chiplet芯片系統(tǒng)集成挑戰(zhàn)。因此,在前道芯片設(shè)計(jì)及后道芯片封裝中,需要基于Co-design的仿真計(jì)算,為器件功能的實(shí)現(xiàn)提供解決方案。

半導(dǎo)體材料數(shù)據(jù)庫(kù)

    概述

    與芯片制造-封測(cè)工藝及可靠性模型相統(tǒng)一的材料數(shù)據(jù)庫(kù),芯片制造-封測(cè)材料數(shù)據(jù)庫(kù)能夠供應(yīng)各種材料數(shù)據(jù)。

    目標(biāo)

    提供先進(jìn)芯片制造-封裝工藝熱分析、力分析、電磁分析以及他們的多尺度及多場(chǎng)耦合仿真所需的基礎(chǔ)(本構(gòu))數(shù)據(jù)服務(wù)。

綜合測(cè)試平臺(tái)

    概述

    先進(jìn)芯片材料及工藝集成測(cè)試平臺(tái)能夠?qū)Ω黝?lèi)芯片材料進(jìn)行精確的分析和測(cè)試。具體測(cè)試服務(wù)價(jià)格請(qǐng)查看產(chǎn)品案例中的材料參數(shù)測(cè)試價(jià)格表文件。同時(shí),平臺(tái)還集成了多種工藝測(cè)試手段,可以全面評(píng)估芯片在制造過(guò)程中的性能表現(xiàn)。通過(guò)這一平臺(tái),武創(chuàng)芯研科技能夠?yàn)榭蛻?hù)提供從芯片材料選擇、工藝優(yōu)化到成品質(zhì)量控制的全方位服務(wù)。

    目標(biāo)

    提供全面的材料表征手段應(yīng)對(duì)從樣品制備、表面到基材、從主成分到微量元素的分析需求,為先進(jìn)芯片新材料研發(fā)、電子制造等前沿研究提供材料研究—表征—制備—測(cè)試—加工等綜合性技術(shù)服務(wù)。

    新材料研發(fā)

  • 芯研科技將傳統(tǒng)材料學(xué)與新興人工智能和大數(shù)據(jù)技術(shù)相融合,通過(guò)構(gòu)建高通量與多尺度計(jì)算,開(kāi)發(fā)基于機(jī)器學(xué)習(xí)的材料快速性能預(yù)測(cè)方法及模型,實(shí)現(xiàn)更高精度、更大尺度的分子層面模擬計(jì)算以及開(kāi)展上萬(wàn)級(jí)任務(wù)并發(fā)的高通量材料篩選等工作,從而提高電子領(lǐng)域新材料的設(shè)計(jì)與研發(fā)。

    新器件設(shè)計(jì)

  • 面向智能應(yīng)用場(chǎng)景算力、高能效需求,芯研科技可提供新材料、器件研發(fā)的仿真解決方案,并提供集成工藝方法。 依托于芯研科技自有的新器件開(kāi)發(fā)和驗(yàn)證經(jīng)驗(yàn),可為客戶(hù)深度定制新型MEMS器件、光學(xué)器件開(kāi)發(fā)解決方案。

    半導(dǎo)體裝備研制

  • 半導(dǎo)體裝備種類(lèi)眾多,并且高度復(fù)雜,每類(lèi)裝備均涉及多物理場(chǎng)相互作用,為保證半導(dǎo)體材料及器件性能,需對(duì)各類(lèi)裝備進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。芯研科技可提供定制化裝備設(shè)計(jì)優(yōu)化解決方案,包括:MPCVD腔室等離子體、電場(chǎng)、電子分布;MOCVD腔室流場(chǎng)均勻性、溫度場(chǎng)均勻性分布以及半導(dǎo)體薄膜互聯(lián)系統(tǒng)等全系列裝備性能優(yōu)化設(shè)計(jì)方案。

    智能產(chǎn)線優(yōu)化

  • 芯研科技基于電子制造多裝備接入、智能感知的混合鍵合真空互連等產(chǎn)線系統(tǒng),提供環(huán)境、工藝、產(chǎn)品組件和缺陷耦合的數(shù)字孿生模型,實(shí)現(xiàn)電子產(chǎn)品智能產(chǎn)線關(guān)鍵工藝過(guò)程的建模仿真及優(yōu)化,探索變形、應(yīng)力及缺陷的形成機(jī)理及調(diào)控策略。

    關(guān)于芯研

    ABOUT IC RESEARCH


    極致技術(shù),價(jià)值共享

          武創(chuàng)院芯片制造協(xié)同設(shè)計(jì)研究所自2023年2月成立于武漢東湖高新區(qū),聚焦國(guó)家半導(dǎo)體芯片集成工藝及可靠性關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)、成果轉(zhuǎn)化與產(chǎn)業(yè)孵化。
          武創(chuàng)芯研科技(武漢)有限公司作為武創(chuàng)院芯片制造協(xié)同設(shè)計(jì)研究所的實(shí)體運(yùn)營(yíng)單位,是湖北省第一個(gè)集自主CAE軟件、芯片封裝工藝可靠性模型以及材料本構(gòu)數(shù)據(jù)庫(kù)開(kāi)發(fā)為一體的新型研發(fā)機(jī)構(gòu)。